پمپ وکیوم دیفیوژن ساختار نه چندان پیچیده‌ای دارد که متشکل از یک بدنه اصلی و سرد و سه یا چهار سری نازل‌های روغن است. مکانیزم عمل پمپ وکیوم دیفیوژن به گونه‌ای است که ابتدا روغن در بویلر گرم شده و به صورت بخار گرم با فشار نازل‌ها به جداره سرد پمپ برخورد کرده و هوای مابین خود و جداره را به پایین پمپ هدایت می‌کند. روغن سرد شده حاوی مقادیری از گاز است که با بازگشت روغن به بویلر بخار شده  توسط پمپ پشتیبان که لازمه یک پمپ دیفیوژن است جمع‌آوری می‌شود. معمولا از پمپ‌هایی نظیر روتاری جهت پشتیبانی پمپ وکیوم دیفیوژن استفاده می‌شود. روغن پمپ وکیوم دیفیوژن مخصوص بوده و طبق دستورالعمل شرکت سازنده روغن پس از مدت زمان مشخصی می‌بایست روغن را تعویض نمود. این نوع پمپ به دو صورت جداسازدار و بدون جداساز گاز ساخته می‌شود.
Busch         Leybold             Becker