ایجاد خلا (وکیوم) خیلی بالا

تمیز توربو پمپ ها برای تولید خلا clean تمیز در محدوده 10-3 تا 10-10 hPa مناسب هستند. به لطف نسبت فشرده سازی بالا ، آنها با اطمینان روغن را از ناحیه ورودی پمپ های روغن دار و دور از گیرنده نگه می دارند. مدل هایی با محفظه های استیل ضد زنگ و فلنج CF قابل پخت هستند. این امر باعث می شود که این پمپ ها برای کاربردهای تحقیق و توسعه در مواردی که نیاز به خلأ بسیار زیاد است ، مناسب باشند. از توربوپمپ ها می توان برای تخلیه شناورهای بزرگ با پمپ های چرخشی پره ای به عنوان پمپ های پشتی استفاده کرد. در مورد پمپ های توربو ، پمپ های دیافراگم دو مرحله ای به عنوان پمپ های پشتی کافی هستند. اما به دلیل سرعت پایین پمپاژ ، زمان زیادی برای پمپاژ کشتی های بزرگتر طول می کشد. جریان گاز این ترکیب پمپ نیز توسط پمپ دیافراگم بسیار محدود می شود. با این حال این ترکیب یک راه حل بسیار مقرون به صرفه برای یک ایستگاه پمپاژ خشک است. این ماده اغلب برای طیف سنج های جرمی پمپ شده متفاوت و سایر کاربردهای تحلیلی یا تحقیق و توسعه استفاده می شود. اگر در منطقه پمپ پشتی به سرعت پمپاژ بالاتری نیاز است ، توصیه می کنیم از پمپ های ریشه ای چند مرحله ای از سری ACP یا برای فرآیندهای خلا chemical شیمیایی در صنعت نیمه هادی یا خورشیدی ، پمپ های پشتیبان با فرایند استفاده کنید. ایستگاه های پمپاژ متشکل از پمپ پشتی و توربوپمپ نیازی به شیر ندارند. هر دو پمپ همزمان روشن می شوند. به محض رسیدن پمپ پشتی به خلا fore پیشین لازم ، توربو پمپ به سرعت به سرعت اسمی خود می رسد و سریعاً ظرف را از فشار [Math Processing Error] <10-4 hPa با سرعت پمپاژ بالا تخلیه می کند. خرابی های مختصر برق را می توان با سرعت چرخش زیاد روتور از بین برد. در صورت قطع برق طولانی تر ، در صورت کاهش RPM ها به زیر حداقل سرعت ، می توان پمپ و گیرنده را به طور خودکار تخلیه کرد. تأثیراتی که در تخلیه شناورها نقش دارند در فصل 2 شرح داده شده است. مسائل مربوط به ابعاد و همچنین محاسبه زمان تخلیه پمپ نیز در آن فصل شرح داده شده است. تخلیه محفظه های قفل بار تخلیه محفظه های قفل بار قطعاً هنگام انتقال قطعه های کاری که باید در یک فرآیند خلا treated تصفیه شوند ، به دست زدن تمیز نیاز دارد. اگر این موارد از فشار اتمسفر منتقل شوند ، ابتدا باید محفظه را از طریق یک خط بای پس تخلیه کنید. توربو پمپ در حال اجرا از طریق شیرآلات بین پمپ پشتی و محفظه متصل می شود. برنامه های تحلیلی امروزه در بسیاری از موارد از طیف سنج های جرمی در دستگاه های آنالیز استفاده می شود. مایعات اغلب در محفظه ورودی سیستم خلاuum تزریق و تبخیر می شوند. فشار در چند مرحله کاهش می یابد و اتاق های جداگانه توسط روزنه ها از یکدیگر جدا می شوند. از آنجا که هر محفظه باید پمپ شود ، هدف این است که جریان گاز از طریق شیرهای روی توربو پمپ از طریق ترکیبی ماهرانه از پمپ های پشتی و توربو پمپ ترکیب شود. توربو پمپ های اصلاح شده خاص با شیر برای برنامه های سری استفاده می شود. علاوه بر SplitFlow 50 که در فصل 4.9.3 شرح داده شده ، راه حل های ویژه مشتری نیز می تواند ارائه شود. آشکارسازهای نشت هلیوم نیز مجهز به توربوپمپ هستند. در این حالت ، اغلب از اصل جریان متقابل استفاده می شود (به بخش 7.2.1 مراجعه کنید). من. ه یک طیف سنج جرمی در سمت خلأ زیاد پمپ قرار دارد. با توجه به نسبت فشرده سازی کمتر توربوپمپ ها برای هلیم نسبت به نیتروژن یا اکسیژن ، پمپ به عنوان یک فیلتر انتخابی برای هلیوم عمل می کند. پمپ های دارای بار گاز زیاد در فرایندهای خلا vac توربوپمپ هنگام پمپاژ بارهای زیاد گاز برای فرآیندهای خلا دو مزیت دارد: در ابتدای هر مرحله فرآیند خلا clean تمیز ایجاد می کند و پس از آن می تواند گاز فرآیند را بدون هیچگونه برگشت مضر پمپاژ کند. در مرحله دوم ، هدف اصلی حفظ فشار خاصی است که در آن فرآیند خلا desired مورد نظر باید اجرا شود. در این فرایند ، توان تولید گاز و فشار کاری توسط برنامه مورد نظر تعیین می شود. من. ه یک مقدار جریان مشخص داده شده با یک جریان گاز معین پمپ می شود. علاوه بر این ، دستیابی سریع به خلا clean میانی تمیز هنگام تعویض قطعه های کار باید امکان پذیر باشد. از آنجا که این الزامات متناقض است ، باید یک توربو پمپ با اندازه کافی برای توان گاز مورد نیاز و خلا inter میانی مورد نیاز انتخاب شود. فشار فرآیند از طریق دریچه ورودی (مانند شیر پروانه ای) تنظیم می شود. نمونه ای از نحوه اندازه گیری این نوع ایستگاه پمپاژ در فصل 2 نشان داده شده است. حداکثر بارهای مجاز گاز مشخص شده در داده های فنی باید به معنای بارهای مداوم مجاز باشد. این امر به شرط اطمینان از خنک سازی کافی مطابق با مشخصات و فشار پشتیبان متناسب با زیر حداکثر فشار پشتیبان بحرانی اعمال می شود. پمپاژ مواد خورنده و ساینده هنگام پمپاژ گازهای خورنده ، باید تدابیر لازم برای محافظت از موتور / مناطق تحمل و روتور به ویژه در برابر خوردگی گرفته شود. برای انجام این کار ، تمام سطوحی که با گاز خورنده تماس پیدا می کنند یا با روکش تهیه می شوند یا از fr ساخته می شوند